درجه بندی خلوص و گواهی بوته تانتالیوم با خلوص بالا
یک بوته تانتالیوم با خلوص بالا با خلوص بیشتر یا مساوی 99.99% تعریف می‌شود که آلودگی‌های کمیاب را حذف می‌کند تا نیازهای سخت‌گیرانه پردازش مواد فوق-حساس را برآورده کند.
سطوح خلوص شامل 99.95٪ (درجه تجاری)، 99.98٪ (درجه تحلیلی) و 99.99٪ (گرید الکترونیکی/هسته ای) است. گواهی از طریق GDMS (طیف‌سنجی جرمی تخلیه تابشی) یا ICP{4}}MS (طیف‌سنجی جرمی پلاسمای جفت شده القایی) سطوح ناخالصی را تأیید می‌کند: به عنوان مثال، 99.99% بوته‌ها دارای Fe کمتر یا مساوی 5 ppm، Ni کمتر یا مساوی 3 ppm یا مساوی ppm 3 ppm هستند. این قابلیت ردیابی برای کاربردهای هوافضا (آلیاژهای ذوب شده) یا نیمه هادی (پردازش دی الکتریک های باکیفیت بالا) حیاتی است.
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99.95% بوته تانتالیوم برای تبخیر کننده پرتو الکترونی، بوته استفاده آزمایشگاهی Ta
چالش های ساخت بوته تانتالیوم با خلوص بالا
پس از{0}}ساخت، بازپخت خلاء (1500 درجه، 10-5 Pa) گازهای جذب شده را حذف می‌کند و خلوص را بیشتر می‌کند.
مزایای عملکرد در کاربردهای حیاتی
در اپیتاکسی نیمه هادی، 99.99% بوته ها از آلودگی ناخالصی جلوگیری می کنند (به عنوان مثال، آهن خواص الکتریکی سیلیکون را تغییر می دهد). برای سوخت هسته‌ای، آنها حاوی ذوب‌های اکسید اورانیوم بدون وارد کردن ناخالصی‌های جذب‌کننده نوترون هستند (مانند B، Cd). نرخ گاز خروجی پایین آنها (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
